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3D 表面形狀測量系統

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更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D
它是一個使用白光干涉技術的系統,可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統產品更緊湊、更便宜。

3D 表面形狀測量系統

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D

它是一個使用白光干涉技術的系統,可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統產品更緊湊、更便宜。
各種測量模式,包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備,包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數據的軟件。

主要特點

  • 低價!
    在配備所有必要功能的同時實現低價
  • 納米級高分辨率
    采用相移干涉法實現高分辨率
  • 全標準設備
    XY自動載物臺,手動左輪,自動光強調節,自動對焦功能
  • 緊湊的外殼
    主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設計。
  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設備即可
    測量臺階測量和粗糙度測量
  • 操作
    簡單 基本操作只是簡單的鼠標操作
  • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
    標準 ISO25178
  • 可擴展性
    多種物鏡選擇,數據拼接功能

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D

主要應用

半導體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫療領域注射針、人工關節、支架等
安裝板銅線、凸點、透鏡等

測量規格?

 垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)相移干涉測量 (PSI)
測量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
準確性0.7%——
再現性0.1%——
反射范圍0.05% – 99%0.05% – 99%


設備規格

XY自動載物臺100mm x 100mm
Z軸驅動范圍100mm
壓電驅動范圍500微米
掃描速度12微米/秒
相機2592 x 1944(500 萬像素)
體重15公斤
 

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