日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050

Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐，可用于處理φ50mm以內的樣品。
用于處理φ20mm以內的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求，Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續了MILA5000的緊湊設計，是一款集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

用途

• 硅片和復合圓晶的快速退火

• 電子材料的快速熱退火，例如光學CVD的基板

• 玻璃基板，陶瓷和復合材料等的熱處理

• 熱循環測試

• 金屬材料的熱退火

• 涂膜的耐熱性評估

• 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特長

• 可對φ50mm以內的樣品進行熱處理

• 最高熱處理溫度1200℃

• 集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型設計

• 搭配水冷循環腔體，可進行潔凈的快速升降溫。

• 通過USB連接，可將溫控程序輸入到電腦

• 加熱過程中可通過電腦監測溫度數據；

仕様

* 可選配件：真空泵
* 加熱溫度or升溫速率根據被加熱樣品的紅外反射率，吸收率，熱容和材料而變化。

均勻性測試

• ① 500℃,Δt = 3.2℃

• ② 800℃,Δt = 0.6℃

• ③ 1000℃,Δt = 4.2℃

• ④ 1200℃,Δt = 2.6℃

樣品安裝（2英寸樣品）

可選配件：SiC包覆的石墨樣品臺 , 石英樣品支架

安裝需求

可選配件

• SiC包覆的石墨樣品臺

• 真空泵 (旋轉真空泵，干式真空泵，分子泵)

• 轉子流量控制計

• 冷卻水流量控制器

• 止回閥（泄壓閥）

• 電源線，冷卻水管

• 冷卻水循環機

• 手提點焊機 HS-9000

• 手提弧焊機HA-1H

日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050