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更新日期：2025-05-02
簡要描述：
日本shibaura皮拉尼壓力真空計 GPW 系列本產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計，能夠測量從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的寬范圍。
日本shibaura皮拉尼壓力真空計 GPW 系列
本產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計，能夠測量從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的寬范圍。
此外，該真空計從傳統(tǒng)控制器中去除了操作/顯示單元，并將其縮小到低限度的必要功能，從而實現(xiàn)了“降低成本"和“節(jié)省空間"。
廣域測量：可進行從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的廣域測量
省配線：通過集成傳感器和控制器，實現(xiàn)省配線、省空間和省電。
提高可視性：配備可檢查異常情況的 LED
可一鍵調(diào)節(jié)：可一鍵調(diào)節(jié)大氣壓、調(diào)零點
可維護性：輕松更換觸控筆
燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料采用耐腐蝕性好的鉑金。
測量值輸出信號：0～10V壓力對數(shù)輸出標準設備
提高抗沖擊性：具有優(yōu)異抗沖擊性的設計結(jié)構(gòu)
控制輸出信號：可輸出2個設定點（GPW-1）
串行通信規(guī)格：可進行 RS-232C/RS-485 通信（僅限 GPW-2）
符合標準：符合CE標準
用于太陽能電池、FPD、半導體、電子元件等各種制造設備的低真空區(qū)域的工藝控制
用于熔爐等各種工業(yè)設備的低真空區(qū)域的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設備的低真空區(qū)域的工藝控制
| 模型 | 總規(guī)劃一一 | 工作總計劃-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接觸控筆 | 一 | ||
| 自適應觸控筆 | SWP-16 (NW-16) | ||
| 測量壓力范圍 | 5.0 x 10 -2至 1.0 x 10 5 Pa | ||
| 測量精度 * | 1×10 -1～1××10 4 Pa：±10% 5.0×10 -2～1.0×10 -1 Pa、1×10 4 Pa～1×10 5 Pa：±20% | ||
| 重復性 | 1×10 -1 Pa～1×10 4 Pa：±2% | ||
| 采樣時間 | 50 毫秒 5 個移動平均線 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10 V | ||
| 壓力指示（日志輸出） 1.7 V 至 8.0 V，1 V/位 | |||
| 更新時間 | 50 毫秒 | ||
| 控制輸入信號 | 集電極開路輸入，負邏輯 ADJ調(diào)節(jié)（零點調(diào)節(jié)，大氣壓調(diào)節(jié)） | ―――― | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負邏輯 [額定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW] 錯誤信號 設定點 1、2 | ―――― | |
| 監(jiān)控設定點 | 設定點 1、2：0 ~ 10 V 日志輸出 | ―――― | |
| 串行通信規(guī)格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | POWER / ERROR：電源、錯誤指示燈 | ||
| SET-1：設定點 1 LED SET-2：設定點 2 LED | ―――― | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度限制 | 10-40℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80%（但無冷凝） | ||
| 知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V 至 30 V，2 W（打開電源時為 4.8 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15-Pin（M2.6 螺絲） | ||
| 大量的 | 150 克（帶 SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源） W x D x H (mm) | 70×46×28 | ||
| 符合標準 | 行政長官 | ||
* 氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。
