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更新日期：2025-05-02
簡(jiǎn)要描述：
日本watty燃?xì)饧訜嵊酶咝Ъ訜崞鱓EX用于半導(dǎo)體/FPD制造的超高純度氣體供應(yīng)/加熱
日本watty燃?xì)饧訜嵊酶咝Ъ訜崞鱓EX
<特點(diǎn)>
用于半導(dǎo)體/FPD制造的超高純度氣體供應(yīng)/加熱
各種分析儀的超高純氣體供應(yīng)/加熱適合為熱處理爐等供應(yīng)氣氛氣體。
S型流量10L，L型流量100L，工作溫度300℃
1. S/M/L型采用EP管結(jié)構(gòu)，
接頭、配管等氣體接觸部位均采用不銹鋼（SUS316L）材質(zhì)。
- 被加熱氣體在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。它在被轉(zhuǎn)移到干凈的管道中的同時(shí)被加熱。
2.
擁有小流量10L/min～100L/min、操作量的小型、輕量、高效、各尺寸的規(guī)格的產(chǎn)品陣容溫度300°C。
3. 標(biāo)配熱電偶和恒溫器
?溫度控制和防止過(guò)熱也是標(biāo)配。接線(xiàn)也很容易。
4, 入口/出口接頭可以更換
?標(biāo)準(zhǔn)接頭為 UJR 1/4 內(nèi)螺紋尺寸。
- 支持從 1/4 到 1/2 大小的入口/出口尺寸。
| 類(lèi)型 | S型 | M型 | L型 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| WEX-S * -2 * | WEX-S * -3 * | WEX-M * -2 * | WEX-M * -3 * | WEX-L * -3 * | |
| 可加熱流體 | 惰性氣體 | ||||
| 高工作溫度 | 200℃ | 300℃ | 200℃ | 300℃ | 300℃ |
| 額定流量 | ~ 10L/分鐘 | ~ 50L/分鐘 | ~ 100L/分鐘 | ||
| 額定容量 | 130W | 190W | 400W | 560W | 1300W |
| 工作壓力 | 0.5Mpa | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | UJR"1/4 女 | UJR"3/8 女 | |||
| 氣體接觸材料 | SUS316L（WEP規(guī)格） | ||||
| 泄漏率 | 1 x 10 10 Pa·m3/sec以下 | ||||
| 電源 | AC100 或 AC200 | ||||
| 熱電偶 | K型2級(jí) | ||||
| 恒溫器 | 光盤(pán)類(lèi)型 | 塊類(lèi)型 | 光盤(pán)類(lèi)型 | 塊類(lèi)型 | 塊類(lèi)型 |
| 機(jī)身外形尺寸（高 x 寬 x 深） | 75 x 75 x 98 | 96 x 102 x 128 | 125.5 x 100 x 115 | 155.5 x 130 x 145 | 178 x 150 x 165 |
| 體重 | 約1公斤 | 約1.2kg | 約2kg | 約2.3kg | 約 4 公斤 |
| 接線(xiàn)方式 | 連接器拆卸 | 引線(xiàn) 2m | 連接器拆卸 | 引線(xiàn) 2m | 連接器拆卸 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | * 1 | ※四 | * 2 | ※五 | * 3 |
日本watty燃?xì)饧訜嵊酶咝Ъ訜崞鱓EX
| 尺寸 | 98 毫米 x 75 毫米 x 75 毫米 |
|---|---|
| 工作溫度 | 200℃ |
| 額定流量 | 10L/分鐘 |
| 額定容量 | 130W |
| 溫度傳感器 | K熱電偶 |
| 防止過(guò)熱 | 帶溫控器 |
| 重量 | 1000g~ |
| UL499 兼容 | 文件號(hào)，E478998 |
| 尺寸 | 70mm x 32mm x 42mm * 不包括絕緣和管道 |
|---|---|
| 工作溫度 | 250℃ |
| 額定流量 | 1～5L/分鐘 |
| 額定容量 | 140W (AC100V 或 200V) |
| 溫度傳感器 | K熱電偶 |
| 防止過(guò)熱 | 帶溫控器 |
| 外保溫 | 地幔（帶魔術(shù)貼） |
| 重量 | 280g~ |
