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在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中，對(duì)材料表面鍍層或薄膜厚度的精確測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。日本電測(cè)（NIPPON DENSHOKU）的熒光X射線膜厚儀EX-851以其先進(jìn)的技術(shù)和性能，為多個(gè)行業(yè)提供了高效、精準(zhǔn)的測(cè)量解決方案。
DENSOKU EX-851熒光X射線膜厚儀的技術(shù)特性使其能夠適應(yīng)多種行業(yè)和場(chǎng)景的測(cè)量需求。
電子與半導(dǎo)體制造是該設(shè)備的核心應(yīng)用領(lǐng)域之一。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，EX-851可用于檢測(cè)晶圓的表面質(zhì)量、光刻膠的厚度等，確保半導(dǎo)體器件的制造精度。 它還能測(cè)量電子元件的外觀和性能，如電容、電阻等元件的外觀缺陷。
汽車工業(yè)同樣受益于這款儀器。它能夠使用光學(xué)測(cè)量設(shè)備檢測(cè)汽車零部件的表面質(zhì)量、材料性能等，確保零部件符合設(shè)計(jì)要求。
在金屬加工與電鍍行業(yè)，EX-851表現(xiàn)出色。它可以進(jìn)行單層鍍層測(cè)量、兩層鍍層測(cè)量、三層鍍層測(cè)量、合金膜厚成分比同時(shí)測(cè)量以及化學(xué)鍍鎳測(cè)量。 特別是對(duì)于鉻（Cr）、鎳（Ni）等元素的測(cè)量，其重復(fù)精度顯著提高2。
食品與藥品檢測(cè)是另一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域。通過(guò)光譜分析技術(shù)檢測(cè)食品和藥品的成分，確保其符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，如檢測(cè)食品中的添加劑、農(nóng)藥殘留、營(yíng)養(yǎng)成分等。
環(huán)境監(jiān)測(cè)領(lǐng)域也可使用這款儀器。通過(guò)光學(xué)傳感器監(jiān)測(cè)大氣中的污染物，如二氧化硫、氮氧化物等，為環(huán)境治理提供數(shù)據(jù)支持。
研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域是EX-851的另一個(gè)用武之地。科研機(jī)構(gòu)利用其高精度測(cè)量能力進(jìn)行材料科學(xué)研究，分析材料的成分、結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)。
DENSOKU EX-851熒光X射線膜厚儀集成了多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，提供了出色的測(cè)量性能和用戶體驗(yàn)。
自動(dòng)對(duì)焦功能是EX-851的一大亮點(diǎn)。只需將測(cè)量單元對(duì)準(zhǔn)激光指示器的位置并關(guān)上門，儀器便會(huì)自動(dòng)移動(dòng)至測(cè)量值并執(zhí)行測(cè)量。測(cè)量完成后，打開(kāi)門，載物臺(tái)會(huì)自動(dòng)返回原位，大大簡(jiǎn)化了操作流程。
雙重過(guò)濾器系統(tǒng)確保了測(cè)量精度。通過(guò)使用除數(shù)值濾波器以外的機(jī)械濾波器（雙重濾波器），儀器能夠在最佳條件下進(jìn)行測(cè)量，始終獲得高的精度。
靈活的準(zhǔn)直儀配置滿足了不同測(cè)量需求。儀器內(nèi)置5種準(zhǔn)直儀，最小準(zhǔn)直儀為0.1φmm，可以測(cè)量極小的零件。標(biāo)準(zhǔn)配置包括0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm準(zhǔn)直儀，還有兩種特殊規(guī)格可選。
強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理和報(bào)告功能提高了工作效率。通過(guò)采用MS-Windows軟件，用戶可以輕松捕獲測(cè)量屏幕，增強(qiáng)了報(bào)告創(chuàng)建功能。多任務(wù)功能允許即使在測(cè)量過(guò)程中也能進(jìn)行包括報(bào)告創(chuàng)建在內(nèi)的其他處理。
先進(jìn)的自診斷和維護(hù)功能確保了設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。自診斷功能可以迅速識(shí)別和解決設(shè)備故障，還有顯示X射線管使用時(shí)間和使用壽命的功能，以支持維護(hù)安全。
選配Be窗口X射線管進(jìn)一步提升了性能。對(duì)于鉻（Cr）和鎳（Ni）的測(cè)量，重復(fù)測(cè)量精度顯著提高：Cr的重復(fù)性提高了約3倍，Ni的重復(fù)性提高了約2倍。測(cè)量?jī)蓪咏Y(jié)構(gòu)時(shí)，中間層中Ni的測(cè)量精度提高了約20%。
快速測(cè)量和分析能力節(jié)省了寶貴時(shí)間。多通道光譜分析高速處理使顯示被測(cè)物的光譜變得容易，處理速度僅約2-3秒。
直觀的結(jié)果展示方式便于數(shù)據(jù)分析。三維圖形顯示可輕松查看測(cè)量對(duì)象的鍍層厚度分布，提供了更直觀的數(shù)據(jù)展示方式。
DENSOKU EX-851不僅測(cè)量性能出色，其硬件設(shè)計(jì)也充分考慮了工業(yè)環(huán)境的需求。
儀器測(cè)量臺(tái)尺寸為200 x 200 mm，運(yùn)動(dòng)量為X軸200mm、Y軸200mm、Z軸90mm，能夠測(cè)量高度最大90mm的樣品。 整體尺寸為740（W）x 530（D）x 660（H）mm（不包括突起部分），重量約為85kg。
安全性能方面，EX-851配備了X射線電源鑰匙開(kāi)關(guān)和故障安全功能，確保了操作過(guò)程中的安全性。
EX-851融合了高精度測(cè)量與高效工作流程，無(wú)論是半導(dǎo)體芯片上的超薄涂層還是汽車零部件上的厚鍍層，它都能提供準(zhǔn)確可靠的數(shù)據(jù)支持。
隨著工業(yè)技術(shù)不斷發(fā)展，對(duì)測(cè)量精度和效率的要求將越來(lái)越高，DENSOKU EX-851這樣的高性能測(cè)量?jī)x器將在質(zhì)量控制和工藝優(yōu)化中發(fā)揮更加關(guān)鍵的作用。
