半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中露點儀選擇-在線露點計TK-100

發(fā)布日期：2024-07-25      瀏覽次數(shù)：697

半導(dǎo)體芯片對現(xiàn)代社會的重要性不言而喻，是支持5G，物聯(lián)網(wǎng)，AI，自動駕駛汽車，智能穿戴等市場發(fā)展的關(guān)鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密，制造工藝要求也越來越精細(xì)，更嚴(yán)格的規(guī)范和生產(chǎn)誤差。反過來，這將更加依賴于監(jiān)測和控制工藝條件的傳感器和儀器性能，盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報廢的風(fēng)險。

被稱為半導(dǎo)體“血液”的電子氣體是芯片制造業(yè)不可缺，它參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等各個環(huán)節(jié)。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等，隨著芯片制造工藝的小型化，半導(dǎo)體生產(chǎn)對電子氣體的純度提出了更高的要求。

氣體中的露點測量是一個挑戰(zhàn)，以99.9999%的高純氮氣為例，其水分含量低于1ppm，也就是100萬個氣體分子中， 不到1個水分子。如此微量的水分子含量， 對濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個真正的考驗。在過往，高精度的水分儀往往伴隨著高成本，而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發(fā)，在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

TK-100在線露點儀


特征

國內(nèi)開發(fā)、國內(nèi)制造、國內(nèi)校準(zhǔn)

露點測量范圍-100至+20℃dp

精度±2℃dp

高響應(yīng)速度

有競爭力的定價體系

交貨快捷

完善的支持體系

可追溯至國家標(biāo)準(zhǔn)

主要用途

手套箱內(nèi)的露點控制

干燥機露點檢查

熱處理爐內(nèi)氣氛控制

潔凈室和干燥室的露點管理

氣體純度控制

天然氣水分管理

半導(dǎo)體制造設(shè)備

有機EL制造

觀點

高品質(zhì)國產(chǎn)露點儀

過去 40 年來，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設(shè)備（主要是露點計）。電容式（阻抗式）露點儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產(chǎn)品，用于測量露點或水分含量。
TK-100在線露點儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的集合，因此您可以輕松開始測量露點。

實現(xiàn)易于安裝的價格范圍

通過在日本進(jìn)行制造、生產(chǎn)線和校準(zhǔn)等所有工序，我們極其重視質(zhì)量，并追求以易于在各種客戶現(xiàn)場情況下實施的價格范圍提供產(chǎn)品。
同時，我們建立了交貨時間短的運輸系統(tǒng)。