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露點(diǎn)儀TK-100在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

  • 發(fā)布日期:2023-10-21      瀏覽次數(shù):713
    • 露點(diǎn)儀TK-100在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

      測量氣體中的水蒸氣露點(diǎn)溫度的儀器叫做露點(diǎn)儀。露點(diǎn)儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同,可以分為多種類型。

      露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在凈化間內(nèi)進(jìn)行的。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度(RH)這一項(xiàng),一年內(nèi)控制點(diǎn)的范圍從35%到65%,精度2%(70℃以下)濕度超標(biāo)會影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計(jì)劃的完成。

              在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū),濕度不穩(wěn)定,會出現(xiàn)很多問題。最典型的問題是烘干期延長,整個處理過程變得難以控制。當(dāng)相對濕度高于35%時,元件易被腐蝕。此外,將顯影液噴在芯片表面時,顯影液迅速揮發(fā),使芯片表面溫度下降,致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會影響顯影特性,還會吸收到半導(dǎo)體內(nèi),這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷,還必須增加一些不必要的工藝控制。

              凈化間常用的除濕方法有兩種。一種是調(diào)節(jié)空氣,另一種是除濕劑。采用第一種方法時,將與凈化間氣流接觸的表面的溫度降至氣流露點(diǎn)以下。除去析出的冷凝水,將除濕后的空氣加熱至規(guī)定溫度后,重新送回凈化間。標(biāo)準(zhǔn)冷凍機(jī)可保證露點(diǎn)達(dá)到+4℃;采用第二種方法時,氣流通過吸濕劑,吸濕劑直接吸收氣流中的水分,然后將除濕后的空氣送回凈化間。吸濕劑除濕法可使露點(diǎn)低于-18℃。


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      TK-100 在線露點(diǎn)儀的傳感器,采用的是 靜電容量式原理。 

      當(dāng)水分子被夾在兩個導(dǎo)電層之間的多孔絕緣層 吸收時,上導(dǎo)電層與下導(dǎo)電層之間的電容將會 產(chǎn)生變化。 

      該電容量通過傳感器內(nèi)部電路被線性的轉(zhuǎn)換為露點(diǎn) 的模擬信號。 吸濕水分的絕緣層厚度為 0.5 μm 以下,上層導(dǎo)電金屬層厚度為 0.1 μm 以下,即使少量 水分的吸附也可迅速反應(yīng)。 

      擁有如此薄度的同時,傳感器仍保持優(yōu)秀的強(qiáng)韌及耐久性。

      高度可信性的校準(zhǔn)/可追溯性 

      TK-100 在線露點(diǎn)儀,在嚴(yán)格的溫濕度管理下,采用美國 NIST 和具有可追溯性的基準(zhǔn)露點(diǎn)儀對各種測量儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。 

      此外,本公司在-70 ℃ 至-10 ℃的低露點(diǎn)范圍領(lǐng)域,被認(rèn)定為 JCSS※ 校準(zhǔn)企業(yè)。因此,在傳統(tǒng)的 NIST 可追溯性校準(zhǔn)的基礎(chǔ)上, 可按照 ISO/IEC17025 進(jìn)行校準(zhǔn)。


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